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年月
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事項
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1958年８月
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真空ポンプ及び真空装置の製造及び販売を目的として、神奈川県川崎市中原区宮内688番地に昭和眞空機械株式会社（資本金50万円）を設立。
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1960年３月
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水晶振動子用真空蒸着装置の第１号機完成。
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1961年７月
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光学用真空蒸着装置の第１号機完成。
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1971年12月
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本社・工場を神奈川県相模原市大野台二丁目27番２号に移転する。
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1974年８月
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水晶振動子用周波数調整全自動真空蒸着装置「ＳＣ－６ＳＡ」を完成。
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1975年９月
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営業部門を分離独立させ株式会社昭和眞空を神奈川県相模原市に設立。（出資比率50％）
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1977年９月
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機械加工部門を分離独立させ昭和精工株式会社を神奈川県相模原市に設立。（出資比率 当社25％、株式会社昭和眞空25％）
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1978年４月
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日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）と技術提携を主とした業務提携契約を結ぶ。
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1978年６月
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効率的な組織運営を図るため、株式会社昭和眞空を吸収合併する。
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1978年６月
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社名を昭和眞空機械株式会社より、株式会社昭和眞空に変更する。
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1981年３月
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日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）より資本参加を受ける。（同社の当社に対する出資比率35.7％）
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1981年６月
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大野台工場内にＣ棟（883.83㎡）を新築する。
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1983年９月
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神奈川県相模原市上溝に上溝工場(739.35㎡)を新築する。
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1984年11月
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水晶振動子周波数調整用真空蒸着装置「ＳＦＣ－７１Ｍ」が第１回神奈川工業技術開発大賞を受賞する。
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1986年７月
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神奈川県相模原市大野台に大野台第二工場（2,534.25㎡）を新築する。
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1994年11月
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ミニインライン方式高周波・高精度水晶調整装置「ＳＲＣ－０１」が第11回神奈川工業技術開発大賞奨励賞を受賞する。
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1995年８月
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昭和精工株式会社を100％子会社化。
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1995年12月
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水晶用ベース電極膜付用スパッタ装置「ＳＰＨ－２５００」を完成。
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1996年５月
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ＭＣＦ用インライン方式水晶周波数調整装置「ＳＲＭ－２１１１Ｃ」を完成。
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1997年２月
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社名を株式会社昭和眞空より、株式会社昭和真空に変更する。
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1997年３月
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日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）との技術提携を主とした業務提携契約を解除し、新たに中華人民共和国における営業活動及び宣伝広告、展示会出展に関する業務契約を締結。
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1997年４月
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韓国法人明成真空株式会社と水晶振動子周波数調整用真空蒸着装置「ＳＣ－６ＳＡＫ」の製造に関する技術契約を締結。
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1999年４月
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日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）と既存業務契約を解除し、新たに商標使用及び業務の相互協力に関する覚書を締結。
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1999年11月
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事業の集中、効率化を図るため、昭和精工株式会社を吸収合併し、機械加工部新設。
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1999年11月
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神奈川県相模原市に南橋本第一工場（602.73㎡）、南橋本第二工場（490.60㎡）を新設。
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2000年５月
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神奈川県相模原市に新開工場（1,365.28㎡）を新設。
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2000年12月
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神奈川県相模原市に小町工場（2,112.39㎡）を新設。
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2000年12月
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日本証券業協会に株式を店頭上場。
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2001年３月
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神奈川県相模原市に工場用地（21,489.09㎡）を購入。
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2002年２月
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新開工場（1,365.28㎡）を閉鎖。
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2002年３月
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南橋本第二工場（490.60㎡）を閉鎖。
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2002年８月
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中国に昭和真空機械（上海）有限公司を設立。
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2002年12月
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米国トランサット社より周波数調整装置に関する知的財産権を取得。
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2003年８月
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中国に昭和真空機械貿易（上海）有限公司を設立。
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2003年12月
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有機ＥＬ素子評価用蒸着装置「ＳＥＣ－０８Ｃ」を開発。
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2004年３月
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神奈川県相模原市に相模原工場（工場2,033㎡、事務棟1,452㎡）を新築。
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