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2008年 4月
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東京営業所を閉鎖し、北関東支社に統合。
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2008年 8月
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本社及びパネトロン株式会社を神奈川県横浜市都筑区から神奈川区に移転。
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エンジニアリングセンターを神奈川県横浜市都筑区に開設。
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2009年 1月
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府中オフィスを閉鎖し、エンジニアリングセンターに統合。
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2010年 4月
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名古屋営業所を名古屋支社に組織変更。
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福岡営業所を福岡県福岡市博多区から福岡県福岡市中央区に移転。
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2010年 6月
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名古屋支社（現 名古屋営業所）を愛知県名古屋市中村区から愛知県名古屋市西区に移転。
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2010年11月
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神奈川県横浜市都筑区に横浜港北物流センターを開設。
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2010年12月
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北関東支社（現 大宮営業所）を埼玉県さいたま市中央区から埼玉県さいたま市大宮区に移転。
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東京証券取引所市場第一部銘柄に指定。
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2011年 1月
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茨城県つくば市につくば営業所を開設。
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2011年 2月
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大阪支社（現 大阪オフィス）及び大阪オフィスを大阪府大阪市淀川区から大阪府大阪市中央区に移転。
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2012年 4月
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当社子会社であるパネトロン株式会社が株式会社アムスクからテキサス・インスツルメンツ社製品に係る販売代理店事業を譲受け。
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2012年 8月
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上海に現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE (SHANGHAI) LTD.を設立。
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2013年 9月
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サンノゼに現地法人inrevium AMERICA, INC.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.）を設立。
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2014年 4月
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当社株式売出しにより東京エレクトロン株式会社が当社の親会社からその他の関係会社に変更。
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2014年 9月
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東京都新宿区に新宿サポートセンターを開設。
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2015年 8月
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バンコクに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE (THAILAND) LIMITEDを設立。
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2016年 4月
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サニーベールに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.）を設立。
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2017年 1月
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現地法人inrevium AMERICA, INC.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.）をサンノゼからフリーモントに移転。
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2017年 4月
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福島県いわき市にいわき営業所を開設。
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2017年 7月
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株式会社アバール長崎（現 東京エレクトロン デバイス長崎株式会社）の株式取得により同社を連結子会社化。
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2018年 7月
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パネトロン株式会社を吸収合併。
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株式会社ファーストの株式取得により同社を連結子会社化。
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2019年 5月
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TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.がTOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.を吸収合併。
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