研究開発活動

5【研究開発活動】

(1)WTS-311NXの機能拡張

 当該検査装置につきまして、既存インストール顧客のニーズを汲みデジタルデバイス対応を実現、機能ボードの開発及び、各種アプリケーションのハード・ソフトウエアの開発を終了しました。その後新規中国方面の顧客ニーズにも対応すべく、高速データ転送規格に対応した拡張機能を開発し、今後更なる高速化と画像処理機能の拡充を行う計画であります。また、WTS-377ローコストイメージセンサー用検査装置につきましては、筐体(母体)を下記する開発中のマルチプラットフォームとして新規開発中の筐体に統一し、国内外の有力顧客の要望に基づいた仕様を盛り込み、且つ低消費電力、加えて装置コストを抑えた設計とし、今後更に伸びる同マーケットへ投入するべく開発を継続しております。

 

(2)WTS-577SRシリーズ

 WTS-577SRシリーズLCDドライバー検査装置につきましては、現在開発中の次世代LCDドライバー検査装置用として開発の完了した高速ドライバーなどの新機能リソース(開発中のものを含め)を、被検査デバイスの高速化、高画素化対応に合わせ最適な検査を提供するために、WTS-577SRへ搭載可能として既存または新規顧客へ提供を開始しております。更に現在開発中の次世代検査装置では、筐体デザインを一新し、装置内に実装する機能ボードによって、幅広い被検査デバイスに対応できる設計(マルチプラットフォーム)とし、顧客の要望に基づいた仕様を実現、且つ低消費電力、加えて装置コストを抑えた設計とする計画です。開発中の新装置は、今後更に伸びるLCDドライバーマーケットは勿論、同検査装置の優れたデジタル検査機能を生かした、先端ロジック検査装置分野、メモリーIC検査分野等に参入を計画し開発しております。

 

(3)検査装置向け工場FA化機器技術「自重補償機構技術」の開発

 検査装置向け工場FA化機器技術(「自重補償機構技術」)、当該技術については、学校法人慶應義塾大学慶應義塾先端科学技術研究センターと共同開発を進めており、2021年9月の段階で、より製品に近い重量キャンセル型アームのプロトタイプが完成詳細動作の検証を進めております。なお、特許等の申請については、既にお知らせのとおり手続きは終了しております。当該技術は当社の検査装置とウエーハ搬送装置との間のドッキングアダプター(以下「ポゴタワー」という。)の着脱(約25㎏~30㎏)をオペレータ一人で簡単に安全に行うための補助アーム(以下「マニピュレータ」という。)で製品化を目指し、インダストリー4.0推進への入口と考え製品化を行います。その後応用製品として「半導体製造工場内FA化システム」、「半導体工場内物流搬送システム」等への応用が可能と考えております。

 

(4)ヘルスケア管理システム

 和歌山大学と進めておりました脈波(BCG,ECG)を利用したヘルスケア管理システムは、研究室が2021年4月に

奈良県立大学に異動となりましたので、現在は同大学並びに株式会社TAOS研究所とアライアンスを継続し、製品化を急いでおります。現在、最終製品化に向けて共同開発を進め、センサーを組込んだバイタル情報インターフェースを完成させ、いくつかの試作モデルを使いあらゆる年代におけるデータのばらつきなどを取得し検証を進めております。なお、ヘルスケア管理システムの販売に関しましては、TAOS研究所に一任する方向です。

 

(5)研究開発費の総額(セグメント別)

 当連結会計年度における研究開発費の総額は266,215千円となりました。セグメント別では、「半導体検査装置事業」における研究開発費は266,215千円となりました。

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